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VCSEL激光器
VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)是一种电流和发射光束方向都与芯片表面垂直的激光器;垂直腔结构对于二维应用具有很好的灵活性,与光纤耦合时具有最高的耦合效率。
结构:一个半导体异质结构构成了激活区,在激活区中建有几个量子阱以增强光增益。这个区域被置于布拉格反射器之间,布拉格反射器是由高折射率物质和低折射率物质层交错堆积而成的。
优点:谐振腔的尺寸非常小(2μm)这使得两个邻近纵模之间的模间隔可以很大(到几十个纳米),增益曲线的光谱宽度不过几纳米,因此,在增益曲线不可能拥有超过一个的纵模;VCSEL激光器有着很小的尺寸,可在一个基层上制造很多的激光器,小尺寸伴随着低功率(10m产生3mW)和高开关速度;输出光束是圆形而非边发射激光器的锥形;制造技术与电子芯片的技术非常相似。
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